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氮化鋁燒結(jié)爐（立式）
氮化鋁燒結(jié)爐（立式）
產(chǎn)品描述：
氮化鋁燒結(jié)爐（立式）主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的氮化鋁等陶瓷胚體和制品的氣氛燒結(jié)、真空燒結(jié)
應(yīng)用范圍：
載盤、導(dǎo)軌和工件臺(tái)、機(jī)械臂、靜電吸盤、透明陶瓷、靶材等、高導(dǎo)熱基板、加熱器、結(jié)構(gòu)件。

氮化鋁燒結(jié)爐（立式）技術(shù)特征

采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置，爐溫均勻性好；

全密閉馬弗，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

可具備真空燒結(jié)、負(fù)壓脫脂燒結(jié)、載氣脫脂燒結(jié)等功能；

可選配脫脂系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結(jié)一次性處理；

適于工藝氣氛：N2/Ar/H2。

氮化鋁燒結(jié)爐（立式）產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號(hào)VSN-0612VSN-0812VSN-1015
工作區(qū)尺寸 D×H（mm）φ600×1200φ900×1700φ1000×1500
最高溫度（℃）1500-20001500-20001500-2000
溫度均勻性（℃）±5~±10±5~±10±5~±10
極限真空度（Pa）10-4-10010-4-10010-4-100
壓升率（Pa/h）0.670.670.67

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

氮化鋁燒結(jié)爐（立式）配置選擇

爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì)：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/陶瓷

熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)（鎢套管/鉬套管/陶瓷管）

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