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400-677-0098
氮化鋁燒結爐（臥式）
氮化鋁燒結爐（臥式）
產品描述：
氮化鋁燒結爐（臥式）主要用于半導體領域的氮化鋁陶瓷胚體和制品的氣氛燒結、真空燒結。
應用范圍：
載盤、導軌和工件臺、機械臂、靜電吸盤、透明陶瓷、靶材等、高導熱基板、加熱器、結構件

氮化鋁燒結爐（臥式）技術特征

采用特殊的爐膽結構和加熱器布置，爐溫均勻性好；

全密閉馬弗，密封效果好，抗污染能力強；

可具備真空燒結、負壓脫脂燒結、載氣脫脂燒結等功能；

可選配脫脂系統，實現陶瓷制品的脫脂燒結一次性處理；

適于工藝氣氛：N2/Ar/H2。

氮化鋁燒結爐（臥式）產品規格

參數\型號HSN-040418HSN-050515HSN-060612HSN-060618
工作區尺寸 W×H×L（mm）400×400×1500500×500×1500600×600×1200600×600×1800
最高溫度（℃）1500-20001500-20001500-20001500-2000
溫度均勻性（℃）±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
極限真空度（Pa）10-4-10010-4-10010-4-10010-4-100
壓升率（Pa/h）0.670.670.670.67

以上參數可根據工藝要求進行調整，不作為驗收依據，具體以技術方案和協議為準。

氮化鋁燒結爐（臥式）配置選擇

爐門鎖緊方式：手動/自動

爐殼材質：全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質：石墨/CFC/陶瓷

熱電偶：K/N/C/S分度號（鎢套管/鉬套管/陶瓷管）

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